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版主： Softfist
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Linjiaojiao
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由 Linjiaojiao »
llb 写了： 昨天 09:47
那不就是thermal expansion 低吗
Fused silica 如何
Schott 也做很多啊
光刻机不就一电灯泡
在受力 强uv 照射 还有控溫0.01 C下绝对不变形
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弃婴千枝
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由 弃婴千枝 »
Linjiaojiao 写了： 昨天 10:20
光刻机不就一电灯泡
在受力 强uv 照射 还有控溫0.01 C下绝对不变形
你一学化学的（你自称不愿意被称学化工的）也唠叨光刻机？
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llb（龙龙爸）楼主
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由 llb（龙龙爸）楼主 »
Linjiaojiao 写了： 昨天 10:20
光刻机不就一电灯泡
在受力 强uv 照射 还有控溫0.01 C下绝对不变形
你算算吧，怎么可能0.01
有必要吗
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李洪志
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由 李洪志 »
datada 写了： 昨天 10:21
用词语法比较过了吗？
是过了，应该叫“阴部露”inblue
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弃婴千枝
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由 弃婴千枝 »
llb 写了： 昨天 10:24
你算算吧，怎么可能0.01
有必要吗
这世界上存在0.01°这样精度的温度传感器么
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Linjiaojiao
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由 Linjiaojiao »
弃婴千枝 写了： 昨天 10:22
你一学化学的（你自称不愿意被称学化工的）也唠叨光刻机？
为卖点东西 不得跟现场工程师唠咳 留点好印象 才能说好话
后来来了个SB marketing的头 说方法不对 重新training 要至上而下 操 Intel CEO 我能见得着 他还管买什么光刻胶 这年月操蛋的事多了
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Linjiaojiao
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由 Linjiaojiao »
llb 写了： 昨天 10:24
你算算吧，怎么可能0.01
有必要吗
是个日本公司做的sensor thermal fisher做的整体系统 为满足耗老师赛毛的要求 怕mask和lens变形 这是号称 是不是真的 我不是工程师
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llb（龙龙爸）楼主
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由 llb（龙龙爸）楼主 »
Linjiaojiao 写了： 昨天 10:30
是个日本公司做的sensor thermal fisher做的整体系统 为满足耗老师赛毛的要求 怕mask和lens变形 这是号称 是不是真的 我不是工程师
光刻机那么大，各个地方的温度范围要求应该不一样。
别乱说
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Linjiaojiao
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由 Linjiaojiao »
llb 写了： 昨天 10:32
光刻机那么大，各个地方的温度范围要求应该不一样。
别乱说
Lens和mask 所在区必须严格温控 以防变形
DUV每个镜头都得带温控系统 有时是故意升温 让镜头变形做调整
＇
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弃婴千枝
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由 弃婴千枝 »
Linjiaojiao 写了： 昨天 11:31
Lens和mask 所在区必须严格温控 以防变形
DUV每个镜头都得带温控系统 有时是故意升温 让镜头变形做调整
＇
光学玻璃的热膨胀率是10^-7, 即使duv镜头等效厚度1米，温度变换1°，厚度变化才0.1微米，这0.1微米的变换还并不一定影响成像，
你们学化学的对很多物理细节没有直觉
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由 弃婴千枝 »
你看天文望远镜，直径30米，都是露天放着，也没听说气温变化了影响成像的
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Linjiaojiao
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由 Linjiaojiao »
弃婴千枝 写了： 昨天 11:44
光学玻璃的热膨胀率是10^-7, 即使duv镜头等效厚度1米，温度变换1°，厚度变化才0.1微米，这0.1微米的变换还并不一定影响成像，
你们学化学的对很多物理细节没有直觉
做芯是十几纳米 偏差容度就一两个纳米
跟照相机 望远镜是两码事
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弃婴千枝
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由 弃婴千枝 »
Linjiaojiao 写了： 昨天 12:02
做芯是十几纳米 偏差容度就一两个纳米
跟照相机 望远镜是两码事
镜头变形，与像变形，是2回事情，
ok？
镜头本质上是个对物平面的傅立叶变换，傅立叶变换作个扰动，并不一定使得变换后的函数有可以觉察的变化
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snowman（(◎o◎;)）
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由 snowman（(◎o◎;)） »
弃婴千枝 写了： 昨天 10:20
原来snowman=阴不露
你是左右不分
中美大船，相向而行，无可奈何花落去。
夫妻梦碎，卖国求辱，同房丫鬟也将就。
沐猴而冠, 傻不厌诈，搬起石头砸自己脚.
三分像人，七分像鬼，英雄做不了奴才也难当
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弃婴千枝
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由 弃婴千枝 »
Linjiaojiao 写了： 昨天 12:07
有快二十个镜头
累加起来也很可观
wafer 平整度都要1 nm以内
镜头变形
与
像变形
是2回事情，影响是高阶小量，你看30米望远镜都是露天放着，冬天夏天温度差几十度也没人关心
