新未名空间

这是公开资料
https://new.qq.com/rain/a/20230914A01HBI00

一般认为是由电子加速器改装而得，清华路线
https://www.zhihu.com/question/557445757

当然之前也讲过，DUV也能做7nm
viewtopic.php?t=286013

这两个的外在区别是DUV一定是在美国禁令之前，集中采购的，而且多次蚀刻，产能会低。
而EUV是自主制造的，没这个缺陷。
即使两个成本都高，后者也是没有产能缺陷的。

现在就看华为的7nm芯片，不论是用在手机上，还是（可能）用在电脑上，能有多大的出货量了。

这些是怀疑的观点

一个出自生化环材的教授
viewtopic.php?t=287316

一个出自前光刻机厂雇员的美籍华人
viewtopic.php?t=286664

清华的极紫外光工厂，既然是与德国合作在德国做出了样板工程，上了Nature，是真的。

的确是技术的伟大创新！

但是充其量解决了光源的问题，其它工艺环节还差得很远，光刻胶都搞不定。

所以Huawei Mate 60 基本还是中芯国际拿之前买的DUV费了很大劲刻出来的。

亏你还是学理工科的。从发paper到能工业化生产有多远没概念吗？

minquan 写了： 2023年 9月 22日 10:50 清华的极紫外光工厂，既然是与德国合作在德国做出了样板工程，上了Nature，是真的。

的确是技术的伟大创新！

但是充其量解决了光源的问题，其它工艺环节还差得很远，光刻胶都搞不定。

所以Huawei Mate 60 基本还是中芯国际拿之前买的DUV费了很大劲刻出来的。