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请问耗子，加州频繁的小震对wafer正品率有影响吗？
发表于 ： 2022年 10月 15日 15:32
由 wwwhu
好像你对光学仪器防震动很有研究，现在的设备自校正能力强到可以忽略小震影响吗？比如建筑施工、采油。
Re: 请问耗子，加州频繁的小震对wafer正品率有影响吗？
发表于 ： 2022年 10月 15日 15:33
由 hhcare
不懂
应该没有太大影响吧。
设计建造的过程都考虑了吧
Re: 请问耗子，加州频繁的小震对wafer正品率有影响吗？
发表于 ： 2022年 10月 15日 15:54
由 wwwhu
hhcare 写了： 2022年 10月 15日 15:33
不懂
应该没有太大影响吧。
设计建造的过程都考虑了吧
提高重量，机械悬浮减震，电子系统负反馈，办法很多，但是没法到0，你们这些光学仪器又要求苛刻得厉害。
Re: 请问耗子，加州频繁的小震对wafer正品率有影响吗？
发表于 ： 2022年 10月 15日 15:56
由 midlander
没任何影响，防震是必须的