耗子老师好消息：国产光刻机确认做不了双重曝光生产不了28nm芯片！

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 21:45

据说是国产光刻机研发大佬文章

耗子的技术超过国内15年还能卖得出去赶紧的！

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 21:47

耗子可以来看看是不是瞎说的

krzkrz 写了： 2024年 9月 16日 21:45 据说是国产光刻机研发大佬文章

耗子的技术超过国内15年还能卖得出去赶紧的！

labi · 帖子由 **labi** » 2024年 9月 16日 21:52

krzkrz 写了： 2024年 9月 16日 21:47 耗子可以来看看是不是瞎说的

耗子看不懂，怎么办？

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 21:54

labi 写了： 2024年 9月 16日 21:52 耗子看不懂，怎么办？

完了

弃婴大师说的中国光刻机是卡在了ArF光源功率不足上

一语成谶！

拜服！

Linjiaojiao · 帖子由 **Linjiaojiao** » 2024年 9月 16日 21:57

krzkrz 写了： 2024年 9月 16日 21:54 完了

弃婴大师说的中国光刻机是卡在了ArF光源功率不足上

一语成谶！

拜服！

还确实是这么回事
牛人
而且鳖跟耗老师一个思路低NA
功率不够减镜片所以弄出个不伦不类的机器交差
没有实用性

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 21:59

Linjiaojiao 写了： 2024年 9月 16日 21:57 还确实是这么回事
牛人

弃婴是板上唯一一个在我看到这个文章之前指出来这个瓶颈的

这个不服不行

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 22:00

Linjiaojiao 写了： 2024年 9月 16日 21:57 还确实是这么回事
牛人
而且鳖跟耗老师一个思路低NA
功率不够减镜片所以弄出个不伦不类的机器交差
没有实用性

大神你帮忙看看这个截图里说的东西符合国内研发人员水平吗？有明显错误吗？

Linjiaojiao · 帖子由 **Linjiaojiao** » 2024年 9月 16日 22:07

krzkrz 写了： 2024年 9月 16日 21:59 弃婴是板上唯一一个在我看到这个文章之前指出来这个瓶颈的

这个不服不行

牛人
只有九十年代做光刻的人才会产生这种想法 193nm应该在九十年代中 ready 结果推迟十年就是因为功率不够
弃大侠若没有这经历能产生这想法比耗老师牛多

hhcare

Linjiaojiao 写了： 2024年 9月 16日 21:57 还确实是这么回事
牛人
而且鳖跟耗老师一个思路低NA
功率不够减镜片所以弄出个不伦不类的机器交差
没有实用性

一个镜片

Duv 减镜片，提高百分之二
Euv减镜片，提高百分之五十。

不懂别乱说

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 22:09

Linjiaojiao 写了： 2024年 9月 16日 22:07 牛人
只有九十年代做光刻的人才会产生这种想法 193nm应该在九十年代中 ready 结果推迟十年就是因为功率不够
弃大侠若没有这经历能产生这想法比耗老师牛多

我觉得你也是牛人高屋建瓴光刻机研发活字典

耗子到现在为止还没看到有什么技术上的表现值得华为出400万的

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 22:11

hhcare 写了： 2024年 9月 16日 22:09 一个镜片

Duv 减镜片，提高百分之二
Euv减镜片，提高百分之五十。

不懂别乱说

开始马后炮了之前怎么没听你说过有ArF功率不足的瓶颈导致65nm光刻机做不了28nm

Linjiaojiao · 帖子由 **Linjiaojiao** » 2024年 9月 16日 22:13

krzkrz 写了： 2024年 9月 16日 22:00 大神你帮忙看看这个截图里说的东西符合国内研发人员水平吗？有明显错误吗？

这文章很客观

Linjiaojiao · 帖子由 **Linjiaojiao** » 2024年 9月 16日 22:14

hhcare 写了： 2024年 9月 16日 22:09 一个镜片

Duv 减镜片，提高百分之二
Euv减镜片，提高百分之五十。

不懂别乱说

现在DUV有29个镜
上微那台估计只有十三个

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 22:14

Linjiaojiao 写了： 2024年 9月 16日 22:13 这文章很客观

那完了白高兴一场还以为能用这个机器做到7nm

结果连28都做不到

包叔看来又被耗子给忽悠了

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 22:17

Linjiaojiao 写了： 2024年 9月 16日 22:14 现在DUV有29个镜
上微那台估计只有十三个

那就是说为了降低激光能量损耗扣掉了16个镜片能补偿40%左右的能量损失，但是同时导致NA只能做到0.75
作者是这个意思吗？

yokel · 帖子由 **yokel（uuuu）** » 2024年 9月 16日 22:22

原文总结：光刻机上帝造，小黄人不行

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 22:23

yokel 写了： 2024年 9月 16日 22:22 原文总结：光刻机上帝造，小黄人不行

你没看他极力吹捧小日子的尼康和佳能？

小日子不是小黄人？

swjtuer · 帖子由 **swjtuer** » 2024年 9月 16日 22:23

工信部搞得perf review

krzkrz · 帖子由 **krzkrz楼主** » 2024年 9月 16日 22:24

swjtuer 写了： 2024年 9月 16日 22:23 工信部搞得perf review

啥叫perf review 我英语不好你别欺负我

Linjiaojiao · 帖子由 **Linjiaojiao** » 2024年 9月 16日 22:29

krzkrz 写了： 2024年 9月 16日 22:17 那就是说为了降低激光能量损耗扣掉了16个镜片能补偿40%左右的能量损失，但是同时导致NA只能做到0.75
作者是这个意思吗？

基本上是这样非光学专业人士
ASML一直告诉光刻机提高主要在出光均匀性所以我一直以为鳖的光源质量不好没想到功率都上不去
最近拆了几台报废机器才发现是镜片越来越多

但本人是本版第一个提出那台Imersion光源是偷的
看样子是本子的

新未名空间

耗子老师好消息：国产光刻机确认做不了双重曝光生产不了28nm芯片！

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