我来跟你们说说 为什么只有谢老师真懂EUV光刻机的光学

[cocojumbo]

你要不再牛逼一点，告诉我怎么用gamma刀做显微镜…….

很多人 都是光学外行，看了点网上发布的东西，就觉得自己懂了。这里就不说各种野鸡自媒体的文章了，就连ASML的公开宣传资料都不一定是真实的，他有迷惑误导别人的倾向。而zeiss的EUV光学系统都是封装在金属镜桶里的，我敢说没有一个zeiss之外的人 敢打开这个金属镜筒。这玩意估计价值几亿美元，谁敢打开？ 破坏了 光学元件之间的alignment，坏了算谁的？ 所以这个EUV光学系统就是个黑箱。

ASML公开的宣传资料说都是反射，十几次反射。 谢老师说 不是十几次反射，还有几次透射。 这里大部分光学外行 凭借自己看宣传资料的三脚猫功夫 就质疑谢老师不懂了。什么x射线没法透射啊，什么x射线只能反射啊。 这都是外行说的话。

到底x射线能不能透射？ 当然能透射，x射线的穿透能力非常强。 你去医院拍x光片 就是透射！

那么到x 射线光学系统存在透射元件吗？ 是存在的！ 我们可以看看x射线显微镜，这就是一个典型x射线光学系统。



此图是zeiss的x射线显微镜 光路图，明显有几个透射元件。 实际上DUV光刻机和光学显微镜的结构是很像的，基本上光刻机就是显微镜倒着用。 所以我们可以合理的推断，x射线光刻或者EUV光刻机其实跟x射线显微镜也是很像的。 既然 x射线显微镜成像系统中存在 透射元件，为什么要排除EUV光刻的成像光学系统里有透射元件呢？

所以 谢老师是真懂 的内行。只有谢老师这种光学内行 才知道euv光学系统里可能有透射器件，而不是如宣传资料里说的那样全是反射镜。

[idocare]

谢老师说你的论点正确，论据就是胡说八道不懂装懂。

很多人 都是光学外行，看了点网上发布的东西，就觉得自己懂了。这里就不说各种野鸡自媒体的文章了，就连ASML的公开宣传资料都不一定是真实的，他有迷惑误导别人的倾向。而zeiss的EUV光学系统都是封装在金属镜桶里的，我敢说没有一个zeiss之外的人 敢打开这个金属镜筒。这玩意估计价值几亿美元，谁敢打开？ 破坏了 光学元件之间的alignment，坏了算谁的？ 所以这个EUV光学系统就是个黑箱。

ASML公开的宣传资料说都是反射，十几次反射。 谢老师说 不是十几次反射，还有几次透射。 这里大部分光学外行 凭借自己看宣传资料的三脚猫功夫 就质疑谢老师不懂了。什么x射线没法透射啊，什么x射线只能反射啊。 这都是外行说的话。

到底x射线能不能透射？ 当然能透射，x射线的穿透能力非常强。 你去医院拍x光片 就是透射！

那么到x 射线光学系统存在透射元件吗？ 是存在的！ 我们可以看看x射线显微镜，这就是一个典型x射线光学系统。



此图是zeiss的x射线显微镜 光路图，明显有几个透射元件。 实际上DUV光刻机和光学显微镜的结构是很像的，基本上光刻机就是显微镜倒着用。 所以我们可以合理的推断，x射线光刻或者EUV光刻机其实跟x射线显微镜也是很像的。 既然 x射线显微镜成像系统中存在 透射元件，为什么要排除EUV光刻的成像光学系统里有透射元件呢？

所以 谢老师是真懂 的内行。只有谢老师这种光学内行 才知道euv光学系统里可能有透射器件，而不是如宣传资料里说的那样全是反射镜。

[魔术强森]

不得不说，你真的很牛逼啊，居然可以用X光直接成像做显微镜。真的没人出来扁你么？还是我太弱鸡了？

这个傻屌亲王非常喜欢不懂装懂。

[wanmeishijie]

耗子在米滑里也有点名头
怎么没人策反他

有没有可能耗子早就投靠CIA了？所以面对2000万offer才不敢回国啊？

[dephpei]

很多人 都是光学外行，看了点网上发布的东西，就觉得自己懂了。这里就不说各种野鸡自媒体的文章了，就连ASML的公开宣传资料都不一定是真实的，他有迷惑误导别人的倾向。而zeiss的EUV光学系统都是封装在金属镜桶里的，我敢说没有一个zeiss之外的人 敢打开这个金属镜筒。这玩意估计价值几亿美元，谁敢打开？ 破坏了 光学元件之间的alignment，坏了算谁的？ 所以这个EUV光学系统就是个黑箱。

ASML公开的宣传资料说都是反射，十几次反射。 谢老师说 不是十几次反射，还有几次透射。 这里大部分光学外行 凭借自己看宣传资料的三脚猫功夫 就质疑谢老师不懂了。什么x射线没法透射啊，什么x射线只能反射啊。 这都是外行说的话。

到底x射线能不能透射？ 当然能透射，x射线的穿透能力非常强。 你去医院拍x光片 就是透射！

那么到x 射线光学系统存在透射元件吗？ 是存在的！ 我们可以看看x射线显微镜，这就是一个典型x射线光学系统。



此图是zeiss的x射线显微镜 光路图，明显有几个透射元件。 实际上DUV光刻机和光学显微镜的结构是很像的，基本上光刻机就是显微镜倒着用。 所以我们可以合理的推断，x射线光刻或者EUV光刻机其实跟x射线显微镜也是很像的。 既然 x射线显微镜成像系统中存在 透射元件，为什么要排除EUV光刻的成像光学系统里有透射元件呢？

所以 谢老师是真懂 的内行。只有谢老师这种光学内行 才知道euv光学系统里可能有透射器件，而不是如宣传资料里说的那样全是反射镜。

透射的确可能有，毕竟mask最好有投射层物理保护。
但是透射成像本质是要做折射，如果没有相互作用就透过去是没有意义的。
另外euv吸收率应该比医用xray高很多。我以前主要做50-100nm左右这个波段的，能量恰好高过任何材料的能隙，吸收率极高，这个波段就叫vuv，第一个v就是真空。euv吸收低一些，但依然高到很难找到低损失的透射材料

[huangchong]

很难找到不强烈吸收13nm的光的材料吧

[弃婴千枝]

嘿嘿，耗子其实非常在意保护美帝的机密，就是胡说八道让你们迷惑，你们都上当了，开始spin x光的透射镜了，特别是楼主这个深圳电子厂打螺丝的化工傻毴


站内帖子：Re: EUV光刻机为什么要把光线反射十四次？

[madao]

谢某给你多少钱帮着炒作LOL

[Amorphous]

这个傻屌亲王非常喜欢不懂装懂。

这点我可以同意

[qiaka]

很多人 都是光学外行，看了点网上发布的东西，就觉得自己懂了。这里就不说各种野鸡自媒体的文章了，就连ASML的公开宣传资料都不一定是真实的，他有迷惑误导别人的倾向。而zeiss的EUV光学系统都是封装在金属镜桶里的，我敢说没有一个zeiss之外的人 敢打开这个金属镜筒。这玩意估计价值几亿美元，谁敢打开？ 破坏了 光学元件之间的alignment，坏了算谁的？ 所以这个EUV光学系统就是个黑箱。

ASML公开的宣传资料说都是反射，十几次反射。 谢老师说 不是十几次反射，还有几次透射。 这里大部分光学外行 凭借自己看宣传资料的三脚猫功夫 就质疑谢老师不懂了。什么x射线没法透射啊，什么x射线只能反射啊。 这都是外行说的话。

到底x射线能不能透射？ 当然能透射，x射线的穿透能力非常强。 你去医院拍x光片 就是透射！

那么到x 射线光学系统存在透射元件吗？ 是存在的！ 我们可以看看x射线显微镜，这就是一个典型x射线光学系统。



此图是zeiss的x射线显微镜 光路图，明显有几个透射元件。 实际上DUV光刻机和光学显微镜的结构是很像的，基本上光刻机就是显微镜倒着用。 所以我们可以合理的推断，x射线光刻或者EUV光刻机其实跟x射线显微镜也是很像的。 既然 x射线显微镜成像系统中存在 透射元件，为什么要排除EUV光刻的成像光学系统里有透射元件呢？

所以 谢老师是真懂 的内行。只有谢老师这种光学内行 才知道euv光学系统里可能有透射器件，而不是如宣传资料里说的那样全是反射镜。

你还是发满清皇帝格格之类的帖子,我看着更习惯些

[verdelite]

很多人 都是光学外行，看了点网上发布的东西，就觉得自己懂了。这里就不说各种野鸡自媒体的文章了，就连ASML的公开宣传资料都不一定是真实的，他有迷惑误导别人的倾向。而zeiss的EUV光学系统都是封装在金属镜桶里的，我敢说没有一个zeiss之外的人 敢打开这个金属镜筒。这玩意估计价值几亿美元，谁敢打开？ 破坏了 光学元件之间的alignment，坏了算谁的？ 所以这个EUV光学系统就是个黑箱。

ASML公开的宣传资料说都是反射，十几次反射。 谢老师说 不是十几次反射，还有几次透射。 这里大部分光学外行 凭借自己看宣传资料的三脚猫功夫 就质疑谢老师不懂了。什么x射线没法透射啊，什么x射线只能反射啊。 这都是外行说的话。

到底x射线能不能透射？ 当然能透射，x射线的穿透能力非常强。 你去医院拍x光片 就是透射！

那么到x 射线光学系统存在透射元件吗？ 是存在的！ 我们可以看看x射线显微镜，这就是一个典型x射线光学系统。



此图是zeiss的x射线显微镜 光路图，明显有几个透射元件。 实际上DUV光刻机和光学显微镜的结构是很像的，基本上光刻机就是显微镜倒着用。 所以我们可以合理的推断，x射线光刻或者EUV光刻机其实跟x射线显微镜也是很像的。 既然 x射线显微镜成像系统中存在 透射元件，为什么要排除EUV光刻的成像光学系统里有透射元件呢？

所以 谢老师是真懂 的内行。只有谢老师这种光学内行 才知道euv光学系统里可能有透射器件，而不是如宣传资料里说的那样全是反射镜。

别扯这医学X光的透射；透射要有用，用来做透镜，那么得有折射，得有不同得折光系数。X光我觉得是没有折射的，都是直线前进，碰到肉透过的多，碰到骨头透过的少，然而都不是折射，做不了透镜。具体大家可以查查我说得对不对。

加几句：首楼的透射原件，是菲涅尔透镜类似的东西，用来做纳米级的光刻机，精度根本不够。

[cocojumbo]

对，你这个人靠谱。那些所谓的X光成像其实还是散射的衬度不同。
真正的用非常硬的射线做聚焦成像的，确实有，DOD有十几年二十年的
项目，得用特殊的晶体，而且是计算光学，连日本人想用都不让，你想
他们那些民科能知道个屁。

别扯这医学X光的透射；透射要有用，用来做透镜，那么得有折射，得有不同得折光系数。X光我觉得是没有折射的，都是直线前进，碰到肉透过的多，碰到骨头透过的少，然而都不是折射，做不了透镜。具体大家可以查查我说得对不对。

加几句：首楼的透射原件，是菲涅尔透镜类似的东西，用来做纳米级的光刻机，精度根本不够。

[弃婴千枝]

对，你这个人靠谱。那些所谓的X光成像其实还是散射的衬度不同。
真正的用非常硬的射线做聚焦成像的，确实有，DOD有十几年二十年的
项目，得用特殊的晶体，而且是计算光学，连日本人想用都不让，你想
他们那些民科能知道个屁。

所以耗子这个人坏得很，以为这里有共产党来刺探情报，故意胡说八道来误导走向，

嘿嘿

跟当年抗美援朝那个别开枪我是中国人的那个美国兵一模一样

[hhcare]

所以耗子这个人坏得很，以为这里有共产党来刺探情报，故意胡说八道来误导走向，

嘿嘿

跟当年抗美援朝那个别开枪我是中国人的那个美国兵一模一样

弃婴
X光成像用晶体，布拉格
我也就忍了

尼玛搞物理的还在euv 上扯淡
不要脸占话语权

被揭发了就不择手段抹黑我

[弃婴千枝]

弃婴
X光成像用晶体，布拉格
我也就忍了

尼玛搞物理的还在euv 上扯淡
不要脸占话语权

被揭发了就不择手段抹黑我

耗子就是买提版的吕超然（Chew-Een Lee）

https://zh.wikipedia.org/wiki/%E5%91%82 ... 5%E7%84%B6

[弃婴千枝]

别扯这医学X光的透射；透射要有用，用来做透镜，那么得有折射，得有不同得折光系数。X光我觉得是没有折射的，都是直线前进，碰到肉透过的多，碰到骨头透过的少，然而都不是折射，做不了透镜。具体大家可以查查我说得对不对。

加几句：首楼的透射原件，是菲涅尔透镜类似的东西，用来做纳米级的光刻机，精度根本不够。

顶楼傻毴也不想想13.5nm的x射线的菲涅耳透镜，这衍射圈得刻得多细多精致，你妈，至少要1/4波长精度吧，那就是3nm

所以，在这以前的所有x射线成像光学都是用掠射镜的，比如chandra x射线卫星

https://en.wikipedia.org/wiki/X-ray_tel ... ng_mirrors

[hhcare]

顶楼傻毴也不想想13.5nm的x射线的菲涅耳透镜，这衍射圈得刻得多细多精致，你妈，至少要1/4波长精度吧，那就是3nm

所以，在这以前的所有x射线成像光学都是用掠射镜的，比如chandra x射线卫星

https://en.wikipedia.org/wiki/X-ray_tel ... ng_mirrors

你也不看看自己贴的图
自己猛打自己的脸