版主： Softfist
euv光和x光不一样，你说说啥材料做透镜可以让euv光透过而不会损失太多能量阿济格英亲王 写了： 2025年 5月 3日 05:43 很多人 都是光学外行，看了点网上发布的东西，就觉得自己懂了。这里就不说各种野鸡自媒体的文章了，就连ASML的公开宣传资料都不一定是真实的，他有迷惑误导别人的倾向。而zeiss的EUV光学系统都是封装在金属镜桶里的，我敢说没有一个zeiss之外的人 敢打开这个金属镜筒。这玩意估计价值几亿美元，谁敢打开？ 破坏了 光学元件之间的alignment，坏了算谁的？ 所以这个EUV光学系统就是个黑箱。
ASML公开的宣传资料说都是反射，十几次反射。 谢老师说 不是十几次反射，还有几次透射。 这里大部分光学外行 凭借自己看宣传资料的三脚猫功夫 就质疑谢老师不懂了。什么x射线没法透射啊，什么x射线只能反射啊。 这都是外行说的话。
到底x射线能不能透射？ 当然能透射，x射线的穿透能力非常强。 你去医院拍x光片 就是透射！
那么到x 射线光学系统存在透射元件吗？ 是存在的！ 我们可以看看x射线显微镜，这就是一个典型x射线光学系统。
此图是zeiss的x射线显微镜 光路图，明显有几个透射元件。 实际上DUV光刻机和光学显微镜的结构是很像的，基本上光刻机就是显微镜倒着用。 所以我们可以合理的推断，x射线光刻或者EUV光刻机其实跟x射线显微镜也是很像的。 既然 x射线显微镜成像系统中存在 透射元件，为什么要排除EUV光刻的成像光学系统里有透射元件呢？
所以 谢老师是真懂 的内行。只有谢老师这种光学内行 才知道euv光学系统里可能有透射器件，而不是如宣传资料里说的那样全是反射镜。
这个不是透镜
你去看看上下文好不好，别在这洗了。前面人问为什么需要14个镜子，耗子说肯定有4次或者6次透射，你说的衍射跟镜子有个毛关系阿济格英亲王 写了： 2025年 5月 3日 06:12 这个不是透镜
透射光学元件 不等于 透镜
你可以去搜搜euv波带板 或者euv zoneplate
这个是基于衍射原理 而不是折射原理的 透射器件。
透镜是基于折射原理的透射器件。 这两种不是一个东西
你根本不懂啊
你是不是看不懂人话，波带片是镜子吗，无语。看耗子怎么圆阿济格英亲王 写了： 2025年 5月 3日 06:28 你根本不懂啊
zoneplate就是透射器件啊
他是基于衍射的
为什么zeiss的x射线显微镜 成像用zone plate，而不用镜子反射？ 你能解释吗
你肯定不能，因为你不懂。 我也不懂光学。 但我知道显微镜和光刻机是非常像的， 既然人家zeiss显微镜用zone plate。 那么zeiss的光刻机肯定也用zone plate了。
你会让大家笑话的。这里学物理的人应该很多。
弃婴四处说布拉格条件hhcare 写了： 2025年 5月 3日 07:04 你会让大家笑话的。这里学物理的人应该很多。
A fiber Bragg grating (FBG) is a type of distributed Bragg reflector constructed in a short segment of optical fiber that reflects particular wavelengths of light and transmits all others.
就是一个滥用名字的典型。
看见布拉格就恶心
弃婴说起布拉格就让人好笑
hhcare 写了： 2025年 5月 3日 07:04 你会让大家笑话的。这里学物理的人应该很多。
A fiber Bragg grating (FBG) is a type of distributed Bragg reflector constructed in a short segment of optical fiber that reflects particular wavelengths of light and transmits all others.
就是一个滥用名字的典型。
看见布拉格就恶心
弃婴说起布拉格就让人好笑
阿济格英亲王 写了： 2025年 5月 3日 05:43 很多人 都是光学外行，看了点网上发布的东西，就觉得自己懂了。这里就不说各种野鸡自媒体的文章了，就连ASML的公开宣传资料都不一定是真实的，他有迷惑误导别人的倾向。而zeiss的EUV光学系统都是封装在金属镜桶里的，我敢说没有一个zeiss之外的人 敢打开这个金属镜筒。这玩意估计价值几亿美元，谁敢打开？ 破坏了 光学元件之间的alignment，坏了算谁的？ 所以这个EUV光学系统就是个黑箱。
ASML公开的宣传资料说都是反射，十几次反射。 谢老师说 不是十几次反射，还有几次透射。 这里大部分光学外行 凭借自己看宣传资料的三脚猫功夫 就质疑谢老师不懂了。什么x射线没法透射啊，什么x射线只能反射啊。 这都是外行说的话。
到底x射线能不能透射？ 当然能透射，x射线的穿透能力非常强。 你去医院拍x光片 就是透射！
那么到x 射线光学系统存在透射元件吗？ 是存在的！ 我们可以看看x射线显微镜，这就是一个典型x射线光学系统。
此图是zeiss的x射线显微镜 光路图，明显有几个透射元件。 实际上DUV光刻机和光学显微镜的结构是很像的，基本上光刻机就是显微镜倒着用。 所以我们可以合理的推断，x射线光刻或者EUV光刻机其实跟x射线显微镜也是很像的。 既然 x射线显微镜成像系统中存在 透射元件，为什么要排除EUV光刻的成像光学系统里有透射元件呢？
所以 谢老师是真懂 的内行。只有谢老师这种光学内行 才知道euv光学系统里可能有透射器件，而不是如宣传资料里说的那样全是反射镜。
