#21 Re: 我来跟你们说说 为什么只有谢老师真懂EUV光刻机的光学
发表于 : 2025年 5月 3日 08:59
你要不再牛逼一点,告诉我怎么用gamma刀做显微镜…….
阿济格英亲王 写了: 2025年 5月 3日 05:43 很多人 都是光学外行,看了点网上发布的东西,就觉得自己懂了。这里就不说各种野鸡自媒体的文章了,就连ASML的公开宣传资料都不一定是真实的,他有迷惑误导别人的倾向。而zeiss的EUV光学系统都是封装在金属镜桶里的,我敢说没有一个zeiss之外的人 敢打开这个金属镜筒。这玩意估计价值几亿美元,谁敢打开? 破坏了 光学元件之间的alignment,坏了算谁的? 所以这个EUV光学系统就是个黑箱。
ASML公开的宣传资料说都是反射,十几次反射。 谢老师说 不是十几次反射,还有几次透射。 这里大部分光学外行 凭借自己看宣传资料的三脚猫功夫 就质疑谢老师不懂了。什么x射线没法透射啊,什么x射线只能反射啊。 这都是外行说的话。
到底x射线能不能透射? 当然能透射,x射线的穿透能力非常强。 你去医院拍x光片 就是透射!
那么到x 射线光学系统存在透射元件吗? 是存在的! 我们可以看看x射线显微镜,这就是一个典型x射线光学系统。
此图是zeiss的x射线显微镜 光路图,明显有几个透射元件。 实际上DUV光刻机和光学显微镜的结构是很像的,基本上光刻机就是显微镜倒着用。 所以我们可以合理的推断,x射线光刻或者EUV光刻机其实跟x射线显微镜也是很像的。 既然 x射线显微镜成像系统中存在 透射元件,为什么要排除EUV光刻的成像光学系统里有透射元件呢?
所以 谢老师是真懂 的内行。只有谢老师这种光学内行 才知道euv光学系统里可能有透射器件,而不是如宣传资料里说的那样全是反射镜。
