#1 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光 生产不了28nm芯片！
发表于 ： 2024年 9月 16日 21:45
据说是国产光刻机研发大佬文章
耗子的技术超过国内15年 还能卖得出去 赶紧的！
耗子的技术超过国内15年 还能卖得出去 赶紧的！
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#2 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 21:47
#4 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 21:52
耗子看不懂，怎么办？
#5 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 21:54
#6 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 21:57
还确实是这么回事
牛人
而且鳖跟耗老师一个思路 低NA
功率不够减镜片 所以弄出个不伦不类的机器交差
没有实用性
#7 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 21:59
#8 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:00
大神你帮忙看看这个截图里说的东西符合国内研发人员水平吗？ 有明显错误吗？
#9 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:07
牛人
只有九十年代做光刻的人才会产生这种想法 193nm应该在九十年代中 ready 结果推迟十年就是因为功率不够
弃大侠若没有这经历能产生这想法 比耗老师牛多
#10 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:09
一个镜片
Duv 减镜片，提高百分之二
Euv减镜片，提高百分之五十。
不懂别乱说
#11 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:09
我觉得你也是牛人 高屋建瓴 光刻机研发活字典Linjiaojiao 写了： 2024年 9月 16日 22:07 牛人
只有九十年代做光刻的人才会产生这种想法 193nm应该在九十年代中 ready 结果推迟十年就是因为功率不够
弃大侠若没有这经历能产生这想法 比耗老师牛多
耗子到现在为止还没看到有什么技术上的表现值得华为出400万的
#12 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:11
开始马后炮了 之前怎么没听你说过有ArF功率不足的瓶颈导致65nm光刻机做不了28nm
#13 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:13
这文章很客观
#14 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:14
现在DUV有29个镜
上微那台估计只有十三个
#15 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:14
#16 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:17
那就是说为了降低激光能量损耗 扣掉了16个镜片 能补偿40%左右的能量损失， 但是同时导致NA只能做到0.75
作者是这个意思吗？
#17 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光 生产不了28nm芯片！
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:22
原文总结：光刻机上帝造，小黄人不行
#18 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光 生产不了28nm芯片！
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:23
#19 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光 生产不了28nm芯片！
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:23
工信部搞得perf review
#20 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光 生产不了28nm芯片！
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:24
啥叫perf review 我英语不好 你别欺负我
#21 Re: 耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光
发表于 ： 2024年 9月 16日 22:29
基本上是这样 非光学专业人士
ASML一直告诉光刻机提高主要在出光均匀性 所以我一直以为鳖的光源质量不好没想到功率都上不去
最近拆了几台报废机器才发现是镜片越来越多
但本人是本版第一个提出那台Imersion光源是偷的
看样子是本子的