做出来光刻机根本不意味着啥，

[hhcare]

大家还是外行，被土鳖骗的一愣一愣的。

机器重要在能完全替代才行。

当年我在kla 做的时候，Hitachi 先做出来放Intel ，人家英特尔根本不着急，等kla 的产品。

当然kla核心是耗子做的。
据说直接把hitachi 打落地下吃屎

人家立马买KLA 的
Hitachi 还在吗?

具体内行做东西其实很简单。。土鳖不懂得还不问问内行
吹不了几年了

[英亲王]

大家还是外行，被土鳖骗的一愣一愣的。

机器重要在能完全替代才行。

当年我在kla 做的时候，Hitachi 先做出来放Intel ，人家英特尔根本不着急，等kla 的产品。

当然kla核心是耗子做的。
据说直接把hitachi 打落地下吃屎

人家立马买KLA 的
Hitachi 还在吗?

具体内行做东西其实很简单。。土鳖不懂得还不问问内行
吹不了几年了

属实 谢老师说得对

本版光刻机唯一内行

[labi]

kla是啥，没听过。
Hitachi知道。

[英亲王]

kla是啥，没听过。
Hitachi知道。

坐wafer inspection tool的

谢老师既然说hitachi了，估计说的是电镜相关的

[Dashabi01]

属实 谢老师说得对

本版光刻机唯一内行

[coltzhao]

还有离子注入机，现在公开的也才到28纳米级。

不过检测工具和离子注入比光刻好搞多了，而且检测类的新产线本来就要新的一起调，不可能靠KLA。

[dramawatcher1]

恭迎耗子回归

[wanghong]

已经二十年了， 我跟大家说说怎么做的吧。 就是波长越短分辨率越高。 那时候193， 246， 157大概已经高大上开始竞争了。 但是都挺贵， 投资很高。 最靠得住的是Mercury-Xenon lamp， 其中的i-line是攻坚的对象。 因为是宽频光源， 大家都集中搞窄带和宽带的filters。

耗子直接看出来365nm才是能量最集中的地方。我不设计coating， 但是知道关键就是确保365nm在各种条件下尽可能都过去。 我就给了coating specs。 让365nm在两个紧邻的通过的峰之间的谷。 结果是什么呢， 就是这个365nm通过率最低保证99.5%。 实际上都是99.7%到99.9%， 而人们的窄带一般是98%， 甚至95%。 从光源到到最后的detector几乎是五十个面。也就是三倍干死hitachi了。一台等于别人三台。

这个事情不久，我就辞职不干了。 因为没有给我任何credit， 其实美国跟中国一个鸟样。 从此后撂挑子养娃去了。

按照我的思路搞euv，早就干死美帝了。 土鳖国真是傻逼活该。

[wanghong]

坐wafer inspection tool的

谢老师既然说hitachi了，估计说的是电镜相关的

当时比得是i-line
patterned wafer inspection

[英亲王]

当时比得是i-line
patterned wafer inspection

仔细讲讲
我对这个wafer 光学检测挺感兴趣的，按理说 光学是达不到检测wafer的分辨率，肯定有某种trick，比如检测的不是具体图形，而是图形干涉形成的条纹

[wanghong]

仔细讲讲
我对这个wafer 光学检测挺感兴趣的，按理说 光学是达不到检测wafer的分辨率，肯定有某种trick，比如检测的不是具体图形，而是图形干涉形成的条纹

据说, 而且应该是
暗场， dark field。
非常合适。

只是比较有没有defects， 只要有， 任何波长都会过去一些，
越短波， 有用的信息过去的越多。
跟光刻还是不一样的。

而且我一个月就完成了优化图像质量。 尼玛， 顶普通工程师干五年。
我只进实验室一次搞定。
当时刚开始工作， 很认真的。

尼玛kla真的没有给我任何credit。 操它姥姥的。

[pepper]

这个时候放光刻机消息明显就是为贸易谈判造牌，别太当真

[英亲王]

据说, 而且应该是
暗场， dark field。
非常合适。

只是比较有没有defects， 只要有， 任何波长都会过去一些，
越短波， 有用的信息过去的越多。
跟光刻还是不一样的。

而且我一个月就完成了优化图像质量。 尼玛， 顶普通工程师干五年。
我只进实验室一次搞定。
当时刚开始工作， 很认真的。

尼玛kla真的没有给我任何credit。 操它姥姥的。

哦 我大概明白了

就是 检测工具的光学端应该也有一个 这个图形应该是什么样子的 模板，或者是mask，或者 镀膜的玻璃板

然后光线从模板照向wafer 形成某种干涉条件，只要是wafer上有根模板不一样的图形 缺陷，肯定此处不能形成干涉。 是亮点

[wanghong]

据说是defect检测就是比较周围的， 也就是假设大多数都是好的，
有了好的比较不同即可。

所以一个是让图像质量提高， 这个算法我给一个月解决。 原来不知道咋弄的， 系统工程师的老板高兴得嘴巴都合不拢。
一个是通过大量的光， 就是noise， 三倍光是啥效果，估计都清楚。

尼玛这么大贡献， kla没有任何奖励。 尼玛manager是女abc，
我就认识到在美帝根本没有前途， 它姥姥的回家养孩子是正经，
发帖比干活强一万倍。

我辞职回家就联系国内， 根本不认识人。 没有机会。
就算后来有人找， 也是问recipe的， 找inblue这种。

土鳖国做不出光刻机， 绝对是活该！

[弃婴千枝]

党妈现在急需的是能造120w的arf激光器
你不会人就不找你了

据说是defect检测就是比较周围的， 也就是假设大多数都是好的，
有了好的比较不同即可。

所以一个是让图像质量提高， 这个算法我给一个月解决。 原来不知道咋弄的， 系统工程师的老板高兴得嘴巴都合不拢。
一个是通过大量的光， 就是noise， 三倍光是啥效果，估计都清楚。

尼玛这么大贡献， kla没有任何奖励。 尼玛manager是女abc，
我就认识到在美帝根本没有前途， 它姥姥的回家养孩子是正经，
发帖比干活强一万倍。

我辞职回家就联系国内， 根本不认识人。 没有机会。
就算后来有人找， 也是问recipe的， 找inblue这种。

土鳖国做不出光刻机， 绝对是活该！

[guobaying]

老谢您太牛逼啦。请受我一拜。。。

》》当然kla核心是耗子做的。
》》据说直接把hitachi 打落地下吃屎

大家还是外行，被土鳖骗的一愣一愣的。

机器重要在能完全替代才行。

当年我在kla 做的时候，Hitachi 先做出来放Intel ，人家英特尔根本不着急，等kla 的产品。

当然kla核心是耗子做的。
据说直接把hitachi 打落地下吃屎

人家立马买KLA 的
Hitachi 还在吗?

具体内行做东西其实很简单。。土鳖不懂得还不问问内行
吹不了几年了

[hhcare]

党妈现在急需的是能造120w的arf激光器
你不会人就不找你了

切， 党妈就丢人吧，
不是说做出来光刻机了？没光源？

弃婴让党妈丢脸了，

[英亲王]

切， 党妈就丢人吧，
不是说做出来光刻机了？没光源？

弃婴让党妈丢脸了，

做光刻机的赖没光源，
做光源的赖光刻机镜头不好

互相推卸责任甩锅呗

要是真能做出来，就是这样：我们xxx团队通过xxx创新克服了光源输出不足的缺陷，达到了xxx指标

[Caravel]

据说, 而且应该是
暗场， dark field。
非常合适。

只是比较有没有defects， 只要有， 任何波长都会过去一些，
越短波， 有用的信息过去的越多。
跟光刻还是不一样的。

而且我一个月就完成了优化图像质量。 尼玛， 顶普通工程师干五年。
我只进实验室一次搞定。
当时刚开始工作， 很认真的。

尼玛kla真的没有给我任何credit。 操它姥姥的。

耗子你也吹太厉害了吧

你比一般混事的强5倍我信

但是哪个公司把最重要的活交给新人干

[弃婴千枝]

切， 党妈就丢人吧，
不是说做出来光刻机了？没光源？

弃婴让党妈丢脸了，

我早说了，党妈跟日本一样，卡在80w arf上面了，超过80w的arf，只有美国人掌握了

耗子你会吗？

https://www.gigaphoton.com/products/8943