新未名空间

大家还是外行，被土鳖骗的一愣一愣的。

机器重要在能完全替代才行。

当年我在kla 做的时候，Hitachi 先做出来放Intel ，人家英特尔根本不着急，等kla 的产品。

当然kla核心是耗子做的。
据说直接把hitachi 打落地下吃屎

人家立马买KLA 的
Hitachi 还在吗?

具体内行做东西其实很简单。。土鳖不懂得还不问问内行
吹不了几年了

hhcare 写了： 2025年 9月 17日 11:40

大家还是外行，被土鳖骗的一愣一愣的。

机器重要在能完全替代才行。

当年我在kla 做的时候，Hitachi 先做出来放Intel ，人家英特尔根本不着急，等kla 的产品。

当然kla核心是耗子做的。
据说直接把hitachi 打落地下吃屎

人家立马买KLA 的
Hitachi 还在吗?

具体内行做东西其实很简单。。土鳖不懂得还不问问内行
吹不了几年了

属实 谢老师说得对

本版光刻机唯一内行

kla是啥，没听过。
Hitachi知道。

labi 写了： 2025年 9月 17日 11:42

kla是啥，没听过。
Hitachi知道。

坐wafer inspection tool的

谢老师既然说hitachi了，估计说的是电镜相关的

英亲王 写了： 2025年 9月 17日 11:41

属实 谢老师说得对

本版光刻机唯一内行

还有离子注入机，现在公开的也才到28纳米级。

不过检测工具和离子注入比光刻好搞多了，而且检测类的新产线本来就要新的一起调，不可能靠KLA。

恭迎耗子回归

已经二十年了， 我跟大家说说怎么做的吧。 就是波长越短分辨率越高。 那时候193， 246， 157大概已经高大上开始竞争了。 但是都挺贵， 投资很高。 最靠得住的是Mercury-Xenon lamp， 其中的i-line是攻坚的对象。 因为是宽频光源， 大家都集中搞窄带和宽带的filters。

耗子直接看出来365nm才是能量最集中的地方。我不设计coating， 但是知道关键就是确保365nm在各种条件下尽可能都过去。 我就给了coating specs。 让365nm在两个紧邻的通过的峰之间的谷。 结果是什么呢， 就是这个365nm通过率最低保证99.5%。 实际上都是99.7%到99.9%， 而人们的窄带一般是98%， 甚至95%。 从光源到到最后的detector几乎是五十个面。也就是三倍干死hitachi了。一台等于别人三台。

这个事情不久，我就辞职不干了。 因为没有给我任何credit， 其实美国跟中国一个鸟样。 从此后撂挑子养娃去了。

按照我的思路搞euv，早就干死美帝了。 土鳖国真是傻逼活该。

英亲王 写了： 2025年 9月 17日 11:42

坐wafer inspection tool的

谢老师既然说hitachi了，估计说的是电镜相关的

当时比得是i-line
patterned wafer inspection

wanghong 写了： 2025年 9月 17日 11:56

当时比得是i-line
patterned wafer inspection

仔细讲讲
我对这个wafer 光学检测挺感兴趣的，按理说 光学是达不到检测wafer的分辨率，肯定有某种trick，比如检测的不是具体图形，而是图形干涉形成的条纹

英亲王 写了： 2025年 9月 17日 11:58

仔细讲讲
我对这个wafer 光学检测挺感兴趣的，按理说 光学是达不到检测wafer的分辨率，肯定有某种trick，比如检测的不是具体图形，而是图形干涉形成的条纹

据说, 而且应该是
暗场， dark field。
非常合适。

只是比较有没有defects， 只要有， 任何波长都会过去一些，
越短波， 有用的信息过去的越多。
跟光刻还是不一样的。

而且我一个月就完成了优化图像质量。 尼玛， 顶普通工程师干五年。
我只进实验室一次搞定。
当时刚开始工作， 很认真的。

尼玛kla真的没有给我任何credit。 操它姥姥的。

这个时候放光刻机消息明显就是为贸易谈判造牌，别太当真

wanghong 写了： 2025年 9月 17日 11:59

据说, 而且应该是
暗场， dark field。
非常合适。

只是比较有没有defects， 只要有， 任何波长都会过去一些，
越短波， 有用的信息过去的越多。
跟光刻还是不一样的。

而且我一个月就完成了优化图像质量。 尼玛， 顶普通工程师干五年。
我只进实验室一次搞定。
当时刚开始工作， 很认真的。

尼玛kla真的没有给我任何credit。 操它姥姥的。

哦 我大概明白了

就是 检测工具的光学端应该也有一个 这个图形应该是什么样子的 模板，或者是mask，或者 镀膜的玻璃板

然后光线从模板照向wafer 形成某种干涉条件，只要是wafer上有根模板不一样的图形 缺陷，肯定此处不能形成干涉。 是亮点

据说是defect检测就是比较周围的， 也就是假设大多数都是好的，
有了好的比较不同即可。

所以一个是让图像质量提高， 这个算法我给一个月解决。 原来不知道咋弄的， 系统工程师的老板高兴得嘴巴都合不拢。
一个是通过大量的光， 就是noise， 三倍光是啥效果，估计都清楚。

尼玛这么大贡献， kla没有任何奖励。 尼玛manager是女abc，
我就认识到在美帝根本没有前途， 它姥姥的回家养孩子是正经，
发帖比干活强一万倍。

我辞职回家就联系国内， 根本不认识人。 没有机会。
就算后来有人找， 也是问recipe的， 找inblue这种。

土鳖国做不出光刻机， 绝对是活该！

党妈现在急需的是能造120w的arf激光器
你不会人就不找你了

wanghong 写了： 2025年 9月 17日 12:11

据说是defect检测就是比较周围的， 也就是假设大多数都是好的，
有了好的比较不同即可。

所以一个是让图像质量提高， 这个算法我给一个月解决。 原来不知道咋弄的， 系统工程师的老板高兴得嘴巴都合不拢。
一个是通过大量的光， 就是noise， 三倍光是啥效果，估计都清楚。

尼玛这么大贡献， kla没有任何奖励。 尼玛manager是女abc，
我就认识到在美帝根本没有前途， 它姥姥的回家养孩子是正经，
发帖比干活强一万倍。

我辞职回家就联系国内， 根本不认识人。 没有机会。
就算后来有人找， 也是问recipe的， 找inblue这种。

土鳖国做不出光刻机， 绝对是活该！

老谢您太牛逼啦。请受我一拜。。。

》》当然kla核心是耗子做的。
》》据说直接把hitachi 打落地下吃屎

hhcare 写了： 2025年 9月 17日 11:40

大家还是外行，被土鳖骗的一愣一愣的。

机器重要在能完全替代才行。

当年我在kla 做的时候，Hitachi 先做出来放Intel ，人家英特尔根本不着急，等kla 的产品。

当然kla核心是耗子做的。
据说直接把hitachi 打落地下吃屎

人家立马买KLA 的
Hitachi 还在吗?

具体内行做东西其实很简单。。土鳖不懂得还不问问内行
吹不了几年了

弃婴千枝 写了： 2025年 9月 17日 12:17

党妈现在急需的是能造120w的arf激光器
你不会人就不找你了

切， 党妈就丢人吧，
不是说做出来光刻机了？没光源？

弃婴让党妈丢脸了，

hhcare 写了： 2025年 9月 17日 12:19

切， 党妈就丢人吧，
不是说做出来光刻机了？没光源？

弃婴让党妈丢脸了，

做光刻机的赖没光源，
做光源的赖光刻机镜头不好

互相推卸责任甩锅呗

要是真能做出来，就是这样：我们xxx团队通过xxx创新克服了光源输出不足的缺陷，达到了xxx指标

wanghong 写了： 2025年 9月 17日 11:59

据说, 而且应该是
暗场， dark field。
非常合适。

只是比较有没有defects， 只要有， 任何波长都会过去一些，
越短波， 有用的信息过去的越多。
跟光刻还是不一样的。

而且我一个月就完成了优化图像质量。 尼玛， 顶普通工程师干五年。
我只进实验室一次搞定。
当时刚开始工作， 很认真的。

尼玛kla真的没有给我任何credit。 操它姥姥的。

耗子你也吹太厉害了吧

你比一般混事的强5倍我信

但是哪个公司把最重要的活交给新人干

hhcare 写了： 2025年 9月 17日 12:19

切， 党妈就丢人吧，
不是说做出来光刻机了？没光源？

弃婴让党妈丢脸了，

我早说了，党妈跟日本一样，卡在80w arf上面了，超过80w的arf，只有美国人掌握了

耗子你会吗？

https://www.gigaphoton.com/products/8943