剩下10%用来校准维护
正常两周停机半天整体95%附近使用率
清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移
版主: Softfist
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Linjiaojiao
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#43 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移
清华的老是跟北大的耗子对着干
拥护宝树连任无上限
支持动态清零不动摇
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#45 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移
清华人的成果逼得耗子的精神分裂症状越来越严重了




